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多晶Al_2O_3薄膜的制备及工艺研究

一、多晶Al_2O_3薄膜的制备及工艺研究（论文文献综述）张萌[1]（2021）在《Li、Cu共掺对NiO薄膜光电特性的影响研究》文中研究说明透明导电氧化物（TCO）薄膜材料有...